Năm 265, nhà Tấn thành lập, Tư Mã Viêm lên ngôi (tức Tấn Vũ đế), cất nhắc Hầu Sử Quang giữ chức Tán kỵ Thường thị (zh), trở thành cận thần bên cạnh hoàng đế. Không lâu sau, Quang được kiêm Thị trung.[3]

Tháng Giêng (ÂL) năm 266, Hầu Sử Quang cùng Hoàng Phủ Đào (zh), Tuân Cảo (zh) được cầm tiết đi các nơi điều tra phong tục.[4] Khi hồi kinh, Quang báo cáo hợp ý Vũ đế, được phong chức Thành môn Hiệu úy, tiến tước Lâm Hải hầu.[3] Sau đó Tấn Vũ đế hạ chiếu khen: [Quang] trung thành mộc mạc, có lòng chính nghĩa, từng trải qua nhiều chức quan, cung kính cần lao, nghiêm khắc với bản thân, hết lòng vì việc công. Nay thăng chức Ngự sử Trung thừa, tuy địa vị dưới các Khanh, Hiệu úy, nhưng cũng là để cho hắn bày ra tài cán.[5]

Năm 267, Ngự sử trung thừa Hầu Sử Quang thấy thái bảo Vương Tường có bệnh mà lâu không vào triều, dâng tấu xin bãi miễn. Tư Lệ Hiệu úy Lý Hí (zh) xin bãi miễn Thái phó Trịnh Xung (zh), Thái bảo Hà Tăng (zh), Thái úy Tuân Nghĩ (zh) vì ba người này nhiều lần xin nghỉ bệnh, Quang cũng nghe theo mà góp lời. Vũ đế gác lại tấu chương của Quang, hạ chiếu cho phép Vương Tường được phép nghỉ bệnh, cũng không đồng ý bãi miễn ba người còn lại.[6]

Tháng 7 (ÂL) năm 268, Hầu Sử Quang lại làm sứ giả, đi điều tra trong nước.[7] Đến cuối đời, nhận chức Thiếu phủ.[4] Quang học tập Nho học của người thời xưa, dù giữ chức quan nào cũng có thành tích tốt. Tấu, sớ do Quang viết có trình tự mạch lạc, được lòng Tấn Vũ đế.[3]

Quang mất trong những năm niên hiệu Thái Thủy (265 – 274) khi đang đương chức. Vũ đế hạ chiếu ban một bộ triều phục, một bộ quần áo, 30 vạn tiền, trăm tấm lụa để phúng điếu.[3] Khi hạ táng, lại hạ chiếu rằng: Hầu Sử Quang có chí hướng mà tuân thủ hứa hẹn, có thanh liêm mà trung thành giữ tiết tháo. Trong nhà [Quang] cực kỳ bần cùng, giản tiện, [nay] ban cho [gia đình] 50 vạn tiền.[8]